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大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡(芯片/晶圓)

簡要描述:蔡康MCK-66RC大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡(芯片/晶圓)采用全新設(shè)計(jì)的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗(yàn)需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察。

  • 產(chǎn)品型號:MCK-66RC
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-11-04
  • 訪  問  量:7167

詳細(xì)介紹

品牌CAIKON/蔡康光學(xué)產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域農(nóng)業(yè),地礦,電子,汽車

                   大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡(芯片/晶圓)MCK-66RC


蔡康MCK-66RC系列為最新大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡,專為芯片/晶圓/LCD行業(yè)/ 粒子爆破檢查,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美,MCK-66RC系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗(yàn)需要,可用于明場、暗場、簡易偏光、微分干涉觀察

■ 所有光學(xué)部件均經(jīng)過特殊處理并鍍有特殊膜層

6英寸大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美

6英寸大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù)。

■ 各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像

■ 多種高度功能化的附件,能滿足半導(dǎo)體檢查各種場景需要。

6英寸半導(dǎo)體檢查顯微鏡技術(shù)規(guī)格表:

 

型號

配置

MCK-66RC-1D

MCK-66RC-2D

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

光學(xué)放大倍數(shù)

50-500(可選500/1000)

數(shù)碼放大倍數(shù)

150-1500倍(21.5寸顯示器)

工業(yè)相機(jī)

20001寸彩色索尼工業(yè)芯片(可選630萬)

觀察筒

像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=1000

像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=1000

目鏡

高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調(diào)

高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/25mm,視度可調(diào)

物鏡

無限遠(yuǎn)半復(fù)消長距明場物鏡 45MM可見光金相物鏡5X NA0.15 WD14.8mm

無限遠(yuǎn)半復(fù)消長距明場物鏡 45MM可見光金相物鏡10X NA0.30 WD8.5mm

無限遠(yuǎn)半復(fù)消長距明場物鏡 45MM可見光金相物鏡20X NA0.45 WD11.9mm

無限遠(yuǎn)半復(fù)消長距明場物鏡 45MM可見光金相物鏡50X NA0.75 WD3.0mm

無限遠(yuǎn)半復(fù)消長距明場物鏡 45MM可見光金相物鏡100X NA0.80 WD3.0mm

無限遠(yuǎn)半復(fù)消長距明場物鏡 45MM可見光金相物鏡100X NA0.90 WD1.0mm

物鏡轉(zhuǎn)換器

5明暗場手動物鏡轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽).

5孔明暗場電動物鏡轉(zhuǎn)換器電動/DIC插槽).

機(jī)架

上光源

反射用機(jī)架低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能

載物臺

6英寸平臺,平臺面積 450*240mm,移動行程:158mmX158mm機(jī)械平臺,X、Y方向同軸調(diào)節(jié);含快速移動裝置

聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9

干涉片

諾曼爾斯基微分干涉

反射照明器

場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調(diào),帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽,

燈室

10W可調(diào)LED燈室,透、反射通用,預(yù)定中心

攝像接口

攝影攝像附件:0.65XC型接口,可調(diào)焦(可選0.5X/1X

偏光組件

起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板

電腦

品牌電腦和顯示器

測量軟件

測量軟件,軟件控制電動物鏡轉(zhuǎn)盤,拍照,錄像,測量,實(shí)時(shí)圖像拼接,景深融合

標(biāo)尺

高精度型測微尺,格值0.01mm

注:●為標(biāo)準(zhǔn)配置, ○ 為可選購件;

 




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